על המכונה, תת-שכבות מורכבות — מעוקלות, מדרגות, לא סדירות — שוברות במהירות את תהליך הריפוי ב-UV הסטנדרטי. מנורות קונבנציונליות מפזרות אנרגיה שאינה...

מבוא בנינו את מנורות הריפוי UV האלה למטרה אחת: להפוך את חיתוך פרוסות הסיליקון למהיר, נקי וללא מתח. העניין לא רק בריפוי. המטרה היא לגרום לסרט ה-UV...