Giới thiệu
Chúng tôi chế tạo những đèn UV chiếu xạ này với một mục đích duy nhất: để làm cho việc cắt tấm bán dẫn nhanh chóng, sạch sẽ và không gây áp lực.
Mục đích không chỉ là chiếu xạ mà còn là làm cho băng keo UV nhanh chóng và hoàn toàn bong ra—mà không bao giờ làm tổn hại đến silicon mỏng manh. Chúng tôi tập trung vào việc điều chỉnh chính xác bước sóng để keo dán tách ra ngay khi ánh sáng chiếu vào. Những gì trước đây mất vài phút, giờ chỉ mất vài giây.
Bí quyết: Công suất và Bước sóng
Điều quan trọng là ánh sáng.
Chúng tôi sử dụng đèn UV cường độ cao được điều chỉnh ở bước sóng rất cụ thể—thường là khoảng 365nm hoặc 395nm. Độ chính xác này là chìa khóa. Nó tập trung vào các chất cảm quang trong băng keo, khiến keo dán polymer hóa và mất độ dính ngay lập tức.
Chúng tôi trang bị đèn với mật độ công suất lớn, để năng lượng xuyên qua lớp màng mang và tác động lên keo dán đúng chỗ cần thiết. Và vì được thiết kế cho chu kỳ nhanh, bạn không phải chờ đợi lâu. Nó đáp ứng được quá trình xử lý công suất cao mà không bị chậm do nhiệt độ tăng.
Thiết kế bền bỉ: Thạch anh và kết nối đơn giản
Thân đèn làm từ thạch anh tinh khiết cao. Nó chịu được nhiệt, chống sốc nhiệt và cho phép ánh sáng UV truyền qua một cách sạch sẽ.
Bên trong, một bóng halogen giữ cho ánh sáng ổn định và lặp lại được, ngay cả sau hàng ngàn chu kỳ.
Về phần tích hợp, chúng tôi chọn kết nối R7s. Đây là một chuẩn đầu nối hai chân thẳng, giúp thay thế dễ dàng—chỉ cần cắm vào và sử dụng. Không cần dây điện phức tạp, và nó vừa khít với các thiết bị bạn đã có trong hệ thống xử lý wafer.
Kết quả thực tế: Wafer sạch hơn, nhanh hơn
Trên sàn sản xuất, đèn đặt ngay trên băng keo UV sau khi cắt. Bạn kích hoạt chiếu sáng, và keo dán bong ra sạch sẽ.
Điều đó có nghĩa là không cần phải nạy keo. Không còn nguy cơ trầy xước vi mô trên wafer. Chỉ cần một sự tách keo sạch sẽ giúp duy trì năng suất và tỷ lệ thành phẩm cao.
Tuy nhiên, cần lưu ý đến nhiệt độ. Đây là đèn công suất cao, nên cần làm mát hợp lý để giữ nhiệt độ wafer ổn định. Hãy lên kế hoạch cho luồng không khí mạnh hoặc làm mát bằng nước, và bạn sẽ có hiệu suất ổn định qua từng ca làm việc.